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在线管式pecvd上下料机

产品说明：

在线管式pecvd上下料机是一款将硅片从硅片承载盒中自动装载至pecvd石墨舟或从pecvd石墨舟中自动装载至硅片承载盒中的设备。

产品优势：

1.速度：6000片/小时;
2.极低的破损：≤0.03%;
3.预留pl工位，可兼容面阵及线扫aoi相机;
4.softtouch设计理念，降低硅片碎片率;

自动装载

低破损率

高产能

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